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소스미터(SMU)

모듈형 소스 모니터 장치 시리즈

A. 주요사양

- 정밀 측정 또는 고속 측정에 적합한 모듈형 제품군
- 모듈성 덕분에 이제 맞춤 구성이 가능할 뿐만 아니라 나중에 요건이 변하더라도 확장 가능
- 2-채널 장치는 단순 테스트 요건에 맞는 보급형 솔루션
- 최고 200 V/1 A까지 공급 및 측정
- 0.1 fA까지의 초저전류 측정
- 메인 프레임 1개당 접지 장치(GNDU)를 1개씩 이용

메인 프레임
모델			사양
E5260A 고속 측정 메인 프레임			슬롯 : 8개 GND 싱크 : 4 A
E5262A 2채널 고속 소스/모니터 장치			고정 구성 : 2 x E5291A GND 싱크 : 2.2 A
E5263A 2채널 고속 소스/모니터 장치			고정 구성 : 1 x E5290A, 1 x E5291A GND 싱크 : 2.2 A
E5260A 모듈
모듈	설명	최대 강제 V	최대 강제 I	전압 측정 분해능	전류 측정 분해능	필요한 슬롯 수
E5290A	고속 타입 고전력 SMU 모듈	± 200	± 1	100 μV	5 pA	2
E5291A	고속 타입 중전력 SMU 모듈	± 100	± 0.2	100 μV	5 pA	1

메인 프레임
모델			사양
E5270B 고정밀 측정 메인 프레임			슬롯 : 8 GND 싱크 : 4 A
E5270B 모듈
모듈	설명	최대 강제 V	최대 강제 I	전압 측정 분해능	전류 측정 분해능	필요한 슬롯 수
E5280B	정밀 고전력 SMU 모듈	± 200	± 1	2 μV	10 fA	2
E5281B	정밀 중전력 SMU 모듈	± 100	± 0.1	0.5 μV	10 fA	1
E5287A	고속 Atto 레벨 고분해능 SMU 모듈	± 100	± 0.1	0.5 μV	1 fA	1
E5288A	Atto 레벨 고분해능 SMU 모듈용 Atto 감지 및 스위칭 장치(ASU)	± 100	± 0.1	0.5 μV	0.1 fA	N/A

B. 제품 관련 자료

(기술개요) Precision Current-Voltage Analyzer Series	다운
(제품사양서) E5262A,E5263A 2 Channel IV AnalyzerSource Monitor Unit	다운

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