B1500A 반도체 디바이스 분석기

A. 주요사양

– Windows®XP Professional OS 및 EasyEXPERT 소프트웨어가 탑재된 PC 기반 계측기

– 전류-전압(IV), 캐패시턴스-전압(CV), 펄스 발생, 빠른 IV 및 시간 도메인 측정을 위한 원박스 솔루션

– 소스 모니터 장치(SMU) 및 기타 모듈 유형(MFCMU, HV-SPGU 및 WGFMU)을 위한 모듈 슬롯 10개

– 0.1fA 및 0.5µV까지 전류-전압(IV) 측정 지원

– 준정적 및 중간 주파수 캐패시턴스-전압(CV) 측정 지원

– 펄스 IV, NBTI 및 RTS 노이즈(RTN) 측정과 같이 다양한 테스트에서 정확하고 빠른 IV 및 시간 도메인 측정 지원

테스트 적용 범위

지원 모듈

주요 사양

주요 특징

DC 및
펄스형 IV 측정

B1510A 고전력
소싱/측정 장치 (HPSMU)

• 최고 200 V/1A
• 최소 10 fA/2 μV
분해능

• 최소 100 μs 샘플링
(타임 도메인) 측정
• 최소 500 μs 펄스폭과
100 μs 분해능
• 준정적 커패시턴스 전압
(QSCV) 측정 및 누설
전류 보상

• 4-사분면 작동
• Kelvin(4-와이어) 연결
• 스폿, 스위프, 기타 기능

B1511B 중전력
소싱/측정 장치 (MPSMU)

• 최고 100 V/0.1 A
• 최소 10 fA/0.5 μV 분해능
• 0.1 fA 및 IV/CV 스위칭을 위한 ASU 옵션

B1517A 고분해능
소싱/측정 장치 (HRSMU)

• 최고 100 V/0.1 A
• 최소 1 fA/0.5 μV 분해능
• 0.1 fA 및 IV/CV 스위칭을 위한 ASU 옵션

B1514A 50 μs 펄스 중전류
소싱/측정 장치 (MCSM U)

최고 30 V/1 A (0.1 A DC)

• 최소 50 μs 펄스 폭과 2 μs 분해능
• 펄스형 정밀 측정을 위한 오실로스코프 뷰

커패시턴스 측정

B1520A 다중 주파수
커패시턴스 측정 장치
(MFCMU)

• 1 kHz ~ 5 MHz 주파수 범위
• 기본 25 V DC 바이어스
(SMU와 SCUU를 사용할 경우 100 V DC 바이어스)

• AC 임피던스 측정 (C-V, C-f, C-t)
• SCUU를 통한 자동 스위칭을 바탕으로 하는 쉽고 빠르고 정확한 IV 및 CV 측정

초고속 펄스형 및
Transient IV 측정

B1530A 파형 발생기/고속
측정장치
(WGFMU)

• 파형 발생 시 10 ns
프로그래밍 가능 분해능
• 200 MSa/s 동시 고속 측정
• 10 V 피크 투 피크 출력

• 로드 라인 효과 없음, SMU 기반 기술을 활용한 정확한 펄스형 IV 측정
• NBTI/PBTI, RTN 등과 같은 고급 어플리케이션용으로 사용 가능

펄스 발생

B1525A 고전압 반도체
펄스 발생기 장치
(HV-SPGU)

• 최고 ± 40 V 고전압 출력

• 각 채널의 2단계 및 3단계 펄스 및 임의 파형 발생 기능
• 비휘발성 메모리 테스트에 이상적

초고속 펄스형 고유전율/
SOI 평가용

B1542A 10 ns 펄스형
IV 파라메트릭
테스트 솔루션

• 2 ns의 상승, 하강 시간을 포함한 최소 10 ns의 게이트 펄스 폭
• 1 μs 전류 측정 분해능

• 정확한 Id-Vd 및 Id-Vg 측정
• DC 및 펄스형 측정 간 손쉬운 전환

C. 제품 관련 자료

(제품사양서) B1500A Semiconductor Device Analyzer 다운